真空爐的加熱元件一般是由電阻絲或石墨棒制成的，其布置方法可所以水平的或筆直的。當真空爐加熱元件通電時，會產生高溫，從而使爐膛內的物質加熱。石墨棒比電阻絲愈加耐高溫，在加熱過程中不易損壞，因而被廣泛應用于高溫真空爐中。
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